第272章成功了!光刻工厂实现了!
3纳米极紫外光?
检测光束设备给出的数据反馈让所有人大吃一惊,3纳米的极紫外光束,这岂不是说他们即将具备制造3纳米芯片的条件?
众所周知,在不考虑《多重曝光技术》的情况下,想要刻出几纳米级的芯片,就要先制造出多少纳米的紫外光光源。
193纳米的深紫外光还好说,大自然里面也能找得到,但13.5纳米及以下的极紫外光,那就必须由人为创造。
深紫外光和极紫外光,和分别对应了DUV光刻机和EUV光刻机,后者现在还处于禁止出口龙国的设备清单里面。
一旦这束光源被证实,确实是可以运用于光刻的极紫外光,那么整个芯片行业都将被颠覆。
“真是3纳米吗?”
夏扬神色激动,向前一步。
现在主流芯片是14纳米,无论是龙兴科技的SOC上帝芯片,还是苹果公司的A9s仿生芯片,亦或者说是髙通公司刚刚推出的骁龙821芯片,它们都是14纳米制程,根本够不着3纳米的边边。
前提是可以能光刻成功。
每推进一步,都需要各行业跟进,一旦说光刻胶不行,那有极紫外光和电路设计图也没用。
夏扬拍了拍胸口。
“确实想不到。”
夏扬:“!!!”
自动涂胶。
3纳米波长?
夏扬咽了口唾沫。
林天点了点头回应道。
光刻工厂不同于光刻机,它更像是一条完整的自动化流水线,只需要装填半导体硅片以及光刻胶与配套试剂,输入指令后就可以进行自动化生产。
雷兵瞪大双眼,不敢错过任何一丝的细节。
自动光刻。
经过了开天芯片、轻舟芯片、SOC上帝芯片多次耳濡目染,他已经算半个行内人了。
林天喃喃自语。
岂不是能刻3纳米芯片?
当然了。
“咕噜——”
“总裁说得没错。”林天也给予了肯定,他回头看向两位局长道:“现在说3纳米芯片还为时过早,不过我们可以先试试这13.5纳米波长的极紫外光,看看它能不能满足芯片生产需求。”
想通了!
原来是专门支持龙兴科技建设光刻工厂的,这也就是说,上边其实已经是知道的了。
“确实是我们操之过急了。”
要是真能造3纳米芯片,那可不是小小的科技震撼,而是向整个半导体芯片行业扔了个蘑菇弹,要颠覆整个行业的事情了。
他目光看向夏扬。
林天微微颔首,没有说话,他双眸注视着监控画面,神色也显得格外紧张。
“试试就知道了。”
陈星讲解道。
林天看着“检测中”的提示,看向陈星说道:“如果可以通过,二期光刻工厂就可以开工了,不过能源还是个问题…”
两块光掩膜版已经重叠,他们在特定
这也是为什么第一期的光刻工厂只有5000平的原因,因为建造太大也没用,像静电吸盘和各类自动化运输的设备,都是需要定制化购买的,关键有些设备国内还没有,比如静电吸盘设备。
虽然他们在操控室,但面前的屏幕有显示洁净室的画面,根本不需要亲自前往。
“这句话在理。”
奉天军区?
下一秒。
夏扬也点了点头,附和道:“没错,记忆力不好的想记也记不住,陈总能记住这些流程,足以见得龙兴科技深耕芯片的赤子之心。”
他们现在可是关了全深城的电力供应,哪怕是凌晨4点钟,但依然会对城市造成影响。
这不是隶属于北部战区的吗?
他就说怎么这么奇怪,明明东部地区用的是国家电网,而深城用的是南方电网,怎么会突然输送电力过来,深城也不缺电啊。
随着透镜组移动到指定位置,13.5纳米波长的极紫外光发生了折射,精准地照射在两块图案互补的光掩膜版上,而光掩膜版上面的完整图案被照射后,最终落到待曝光的半导体硅片表面。
体制内,谁不想进步?
有进步的机会,他们可不会放过,更何况是涉及“芯片”的。
“滋——”
存放在特定区域的半导体硅片被静电吸盘吸起,运送到清洗区域,洗掉附着在半导体硅片表面的灰尘和杂质。
雷兵笑道。
后者立马会意,连忙说道:“陈总、林首席你们放心好了,只要证实光刻工厂可行,天一亮我就回去召开市级会议,主题就是建设你们的能源输送通道。”
“不能这样说。”
不过纵使是这样,雷兵还是忍不住竖起拇指称赞道:“想不到陈总不仅在商业领域有所建树,原来在芯片领域也有自己独到的见解。”
像目前龙兴化工研制的1号光刻胶,它的曝光波长就在193纳米,最高支持7纳米芯片制造,这还是有多重曝光技术加持的情况下。
他们属于是懂一点,但并不知道半导体芯片领域可不仅仅只有极紫外光,还有N多的细枝末节,只有全部攻克才能造出芯片。
你陈星不和南部战区打交道,跑去北部战区了?
“包在我身上。”
“理论上来说,运行功率的加大,会同步放大电子运动的速度,电子在环形存储器的速度越快,辐射出的极紫外光能量就越强,但我并不能确定这个数值是不是正确的,只能说理论可行。”
就在雷兵和夏扬内心掀起惊涛骇浪,震惊到大脑空白时,林天突然打断了他们道:“裸片电路的检测结果出来了。”
当这步完成以后,半导体硅片再次被运输,它来到了显影区域。
光刻工厂没有人测试过,谁也不知道行不行。
身旁的夏扬则是惊讶到懵逼,东电南调文件,这不是刚刚下达的全国性绝密文件吗?
想要制造出3纳米芯片,3纳米极紫外光、3纳米芯片电路设计、3纳米曝光波长光刻胶缺一不可,这也是为什么,芯片纳米等级推进缓慢的原因。
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